極端紫外(EUV)光源開発等の先進半導体製造技術の実用化研究成果報告書

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書誌事項

タイトル
"極端紫外(EUV)光源開発等の先進半導体製造技術の実用化研究成果報告書"
出版者
  • [大阪大学レーザーエネルギー学研究センター]
出版年月
  • [2008.3]
書籍サイズ
30cm
タイトル別名
  • キョクタン シガイ (EUV) コウゲン カイハツトウ ノ センシン ハンドウタイ セイゾウ ギジュツ ノ ジツヨウカ ケンキュウ セイカ ホウコクショ
  • 極端紫外EUV光源開発等の先進半導体製造技術の実用化

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注記

タイトルと出版事項は表紙による

文部科学省の委託業務として大阪大学が実施した「極端紫外(EUV)光源開発等の先進半導体製造技術の実用化」の成果をとりまとめたもの

参考文献あり

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1130864315061776706
  • NII書誌ID
    BD08320601
  • 本文言語コード
    ja
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    ja
  • 出版地
    • [大阪]
  • データソース種別
    • CiNii Books
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