Handbook of silicon based MEMS materials and technologies
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書誌事項
- タイトル
- "Handbook of silicon based MEMS materials and technologies"
- 責任表示
- edited by Markku Tilli ... [et al.]
- 出版者
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- Elsevier
- 3rd ed
- 出版年月
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- c2020
- 書籍サイズ
- 28 cm
- シリーズ名/番号
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- pbk.
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注記
Other editors: Mervi Paulasto-Kröckel, Matthias Petzold, Horst Theuss, Teruaki Motooka, Veikko Lindroos
Includes bibliographical references and index
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1131130857712537856
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- NII書誌ID
- BC0002373X
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- ISBN
- 9780128177860
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- ne
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Amsterdam
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- 分類
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- DC23: 621.381
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- 件名
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- LCSH: Microelectromechanical systems
- LCSH: Silicon
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- データソース種別
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- CiNii Books