Handbook of silicon based MEMS materials and technologies

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書誌事項

タイトル
"Handbook of silicon based MEMS materials and technologies"
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edited by Markku Tilli ... [et al.]
出版者
  • Elsevier
  • 3rd ed
出版年月
  • c2020
書籍サイズ
28 cm
シリーズ名/番号
  • pbk.

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注記

Other editors: Mervi Paulasto-Kröckel, Matthias Petzold, Horst Theuss, Teruaki Motooka, Veikko Lindroos

Includes bibliographical references and index

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1131130857712537856
  • NII書誌ID
    BC0002373X
  • ISBN
    9780128177860
  • 本文言語コード
    en
  • 出版国コード
    ne
  • タイトル言語コード
    en
  • 出版地
    • Amsterdam
  • 分類
  • 件名
  • データソース種別
    • CiNii Books
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