Effects of Capacitively Coupled Radio Frequency Krypton and Argon Plasmas on Gallium Nitride Etching Damage

DOI 被引用文献6件 参考文献12件

収録刊行物

被引用文献 (6)*注記

もっと見る

参考文献 (12)*注記

もっと見る

キーワード

詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1360003446854928000
  • NII論文ID
    210000067284
  • DOI
    10.1143/jjap.48.08hf01
  • ISSN
    13474065
    00214922
    http://id.crossref.org/issn/13474065
  • データソース種別
    • Crossref
    • CiNii Articles

問題の指摘

ページトップへ