Ultrananocrystalline diamond thin films for MEMS and moving mechanical assembly devices

DOI Web Site Web Site 被引用文献15件

収録刊行物

Diamond and Related Materials

Diamond and Related Materials 10 (11), 1952-1961, 2001-11

Elsevier BV

被引用文献 (15)*注記

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CRID

1360011146028197504
DOI

10.1016/s0925-9635(01)00385-5
ISSN

09259635
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