Three‐Dimensional Flow Effects in Silicon CVD in Horizontal Reactors

DOI Web Site Web Site 被引用文献5件
  • H. K. Moffat
    Department of Chemical Engineering and Materials Science, University of Minnesota, Minneapolis, Minnesota 55455
  • K. F. Jensen
    Department of Chemical Engineering and Materials Science, University of Minnesota, Minneapolis, Minnesota 55455

書誌事項

公開日
1988-02-01
権利情報
  • https://iopscience.iop.org/page/copyright
  • https://iopscience.iop.org/info/page/text-and-data-mining
DOI
  • 10.1149/1.2095638
公開者
The Electrochemical Society

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