Calibration of step heights and roughness measurements with atomic force microscopes

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収録刊行物

Precision Engineering

Precision Engineering 27 (1), 91-98, 2003-01

Elsevier BV

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CRID

1362825893813922304
DOI

10.1016/s0141-6359(02)00184-8
ISSN

01416359
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