Ferroelectric thin films for micro-sensors and actuators: a review

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  • CRID
    1363107368921052544
  • NII論文ID
    30017862843
  • DOI
    10.1088/0960-1317/10/2/307
  • ISSN
    13616439
    09601317
    http://id.crossref.org/issn/09601317
  • データソース種別
    • Crossref
    • CiNii Articles

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