A brief review of atomic layer deposition: from fundamentals to applications
書誌事項
- 公開日
- 2014-06
- 権利情報
-
- https://www.elsevier.com/tdm/userlicense/1.0/
- http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/3.0/
- DOI
-
- 10.1016/j.mattod.2014.04.026
- 公開者
- Elsevier BV
この論文をさがす
収録刊行物
-
- Materials Today
-
Materials Today 17 (5), 236-246, 2014-06
Elsevier BV
