A Tunable RF MEMS Inductor on Silicon Incorporating an Amorphous Silicon Bimorph in a Low-Temperature Process

DOI PDF 被引用文献2件

収録刊行物

  • IEEE Electron Device Letters

    IEEE Electron Device Letters 27 (11), 905-907, 2006-11

    Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE)

被引用文献 (2)*注記

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