Effects of deposition temperature on the structure of amorphous carbon nitride films
書誌事項
- 公開日
- 2004-01
- 権利情報
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- https://www.elsevier.com/tdm/userlicense/1.0/
- DOI
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- 10.1016/s0038-1098(03)00557-x
- 公開者
- Elsevier BV
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収録刊行物
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- Solid State Communications
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Solid State Communications 129 (2), 139-142, 2004-01
Elsevier BV
