書誌事項
- タイトル別名
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- Monte-Carlo Simulation of Rarefied Vapor Flow of Aluminum in an Air-to-Air Metallizer.
- レンゾクシキ シンクウ ジョウチャクキ ニ オケル アルミニウム キハク ジョ
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抄録
The direct simulation Monte-Carlo method has been used to study the behavior of rarefied vapor flow of aluminum through deposition equipment, where the space between the crucible and the film is surrounded by hood-shaped channels. Aluminum other than that deposited on the film is mostly trapped on the channel walls and recycled.<BR>The utilization of aluminum calculated by the simulation is in good agreement with the experimental results.
収録刊行物
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- 真空
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真空 40 (5), 431-435, 1997
一般社団法人 日本真空学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390001204063413888
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- NII論文ID
- 10001958941
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- NII書誌ID
- AN00119871
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- ISSN
- 18809413
- 05598516
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- NDL書誌ID
- 4247798
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- NDL
- Crossref
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可