エキシマレーザアプレーション法を用いた機能性薄膜の作製

DOI Web Site 被引用文献1件 参考文献38件

書誌事項

タイトル別名
  • Preparation of Thin Films of Functional Materials by an Excimer Laser Ablation Technique.
  • エキシマ レーザ アブレーションホウ オ モチイタ キノウセイ ハクマク ノ

この論文をさがす

収録刊行物

  • 真空

    真空 36 (2), 81-86, 1993

    一般社団法人 日本真空学会

被引用文献 (1)*注記

もっと見る

参考文献 (38)*注記

もっと見る

キーワード

詳細情報 詳細情報について

問題の指摘

ページトップへ