ＳＥＭを利用した微小針製作装置の試作

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タイトル別名
  • Experimental fabrication of a needle growing apparatus by reforming of a conventional SEM.
  • SEM オ リヨウシタ ビショウバリ セイサク ソウチ ノ シサク

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抄録

記事分類: 電気工学--電子工学--電子応用機器--電子顕微鏡

収録刊行物

  • 真空

    真空 33 (10), 813-815, 1990

    一般社団法人 日本真空学会

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