中速イオン散乱法(MEIS)と走査型トンネル顕微鏡(STM)による表面ナノ構造の解析

書誌事項

タイトル別名
  • Analysis of Nano-structures on Si Surfaces Using Medium-energy Ion Scattering (MEIS) and Scanning Tunneling Microscopy (STM)
  • チュウソク イオン サンランホウ MEIS ト ソウサガタ トンネル ケンビキョウ STM ニ ヨル ヒョウメン ナノ コウゾウ ノ カイセキ

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収録刊行物

  • 真空

    真空 49 (5), 277-281, 2006

    一般社団法人 日本真空学会

参考文献 (20)*注記

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