ＩＩＩ‐Ｖ族化合物半導体材料の表面精密加工技術（原子層エピタキシー）

DOI Web Site 参考文献53件

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タイトル別名
  • Fine-Controlled Surface Modification Techniques in III-V Compound Semiconductor Materials(Atomic Layer Epitaxy).
  • 3 5ゾク カゴウブツ ハンドウタイ ザイリョウ ノ ヒョウメン セイミツ カ
  • Atomic Layer Epitaxy
  • 原子層エピタキシー

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収録刊行物

  • 真空

    真空 36 (2), 73-80, 1993

    一般社団法人 日本真空学会

参考文献 (53)*注記

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