書誌事項
- タイトル別名
-
- Fine-Controlled Surface Modification Techniques in III-V Compound Semiconductor Materials(Atomic Layer Epitaxy).
- 3 5ゾク カゴウブツ ハンドウタイ ザイリョウ ノ ヒョウメン セイミツ カ
- Atomic Layer Epitaxy
- 原子層エピタキシー
この論文をさがす
収録刊行物
-
- 真空
-
真空 36 (2), 73-80, 1993
一般社団法人 日本真空学会
- Tweet
詳細情報 詳細情報について
-
- CRID
- 1390001204065045760
-
- NII論文ID
- 10007955497
-
- NII書誌ID
- AN00119871
-
- ISSN
- 18809413
- 05598516
-
- NDL書誌ID
- 3808469
-
- 本文言語コード
- ja
-
- データソース種別
-
- JaLC
- NDL
- Crossref
- CiNii Articles