軟Ｘ線分光法とシリコン化合物・薄膜系

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タイトル別名
  • Soft X-ray spectroscopy and its application to surface region and interface study.
  • ナンXセン ブンコウホウ ト シリコン カゴウブツ ハクマクケイ

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抄録

物質に電子を入射させると, 内殻電子の励起によりX線 (光子) が放出されることがある.軟X線分光法とは1～50nm付近の波長領域の分光学で, 固体の場合, 価電子帯の電子状態を調べるのに適している. とくに, 光の放射や吸収を伴う遷移の選択則により, 価電子帯の電子状態を, 波動関数の対称性に分けて明きからかすることが可能である.ここでは, 新しい軟X線分光装置の製作と, シリコン化合物 (遷移金属シリサイドなど) の価電子状態, および, 薄膜接合系についての軟X線分光法による研究から得られる知見を中心に報告する.

収録刊行物

  • 真空

    真空 33 (11), 848-853, 1990

    一般社団法人 日本真空学会

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