マルチメディア時代における真空装置と薄膜応用　　高誘電率薄膜成膜技術

DOI Web Site 参考文献14件

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タイトル別名
  • Vacuum Equipment and Application for Thin Film in the Multimedia. Deposition Technique for Capacitor Films with High Dielectric Constant.
  • コウ ユウデンリツ ハクマク セイマク ギジュツ

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収録刊行物

  • 表面技術

    表面技術 48 (11), 1054-1058, 1997

    一般社団法人 表面技術協会

参考文献 (14)*注記

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