マイクロマシニング技術を用いた光学式距離センサ

DOI Web Site Web Site 被引用文献2件 参考文献10件 オープンアクセス

書誌事項

タイトル別名
  • An Optical Distance sensor Fabricated by Micromachining Technology
  • マイクロマシニング ギジュツ オ モチイタ コウガクシキ キョリ センサ

この論文をさがす

説明

A micro-optical distance sensor by a combination of LIGA technology and Si micromachining is proposed. The function of the distance sensor is based on the triangulation principle. This sensor consists of optical components made by the LIGA process, i.e. a free space micro-optical system and micro-cylindrical lenses, and an electrical base with opto-electrical devices.<br>In this paper, two prototype sensors are described, which have measurement ranges of 1 mm (Type1) and 10mm (Type2). The dimensions of the pure sensor chip are 7 mm (W) × 7 mm (L) × 3 mm (H). The repeatability error of Type1 and Type2 are ±3 μm and ±80 μm, respectively.

収録刊行物

被引用文献 (2)*注記

もっと見る

参考文献 (10)*注記

もっと見る

キーワード

詳細情報 詳細情報について

問題の指摘

ページトップへ