1対の支持梁による3次元駆動MEMSスキャナの形状設計

DOI Web Site Web Site 被引用文献1件 参考文献3件
  • 小口 陽平
    早稲田大学理工学術院基幹理工学研究科機械科学専攻
  • 飯野 知紗
    早稲田大学理工学術院基幹理工学研究科機械科学専攻
  • 岩瀬 英治
    早稲田大学理工学術院基幹理工学研究科機械科学専攻

書誌事項

タイトル別名
  • The Design of MEMS Scanner for the Three Dimensional Actuation with a Pair of Beams
  • 1ツイ ノ シジリョウ ニ ヨル 3ジゲン クドウ MEMS スキャナ ノ ケイジョウ セッケイ

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説明

<p>We propose the design for three-dimensional (3-D) scanning micromirror with single pair of beams. A 3-D scanning micromirror is powerful solution for projection/detection of a 3-D image in tiny devices. We succeed in designing and fabricating the micromirror having three separated resonance modes (two torsion modes and one parallel mode) with high fill-factor. Our design of single pair of beams can contribute to simpleness and compactness of a 3-D scanner because of easy fabrication and high fill-factor.</p>

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