書誌事項
- タイトル別名
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- Miniaturized Thermal Analysis Sensor using Micro-heaters on SOI substrate
- SOI キバン ジョウ マイクロヒータ オ モチイタ チョウコガタ ネツ ブンセキ センサ
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説明
Miniaturized thermal analysis sensors integrated together with a micro-heater, a sample-holder and a thermocouple on a Si chip have been fabricated using the micro-machining technique. In this paper this thermal analysis sensor is formed on the SOI substrate to set the liquid sample easily on the sample holder. The micro-heater is made of an n type diffusion layer on the diaphragm. New micro-heater characteristic of ΔT-t curve and thermal time constant are measured. Liquid samples of water and methanol are analyzed, and their clear boiling points and evaporation heats are observed.
収録刊行物
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- 電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)
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電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌) 122 (4), 207-211, 2002
一般社団法人 電気学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390001204461400448
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- NII論文ID
- 10007992650
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- NII書誌ID
- AN1052634X
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- ISSN
- 13475525
- 13418939
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- NDL書誌ID
- 6123458
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- NDL
- Crossref
- CiNii Articles
- KAKEN
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可