書誌事項
- タイトル別名
-
- Visualization of Spatial Profiles of Plasmas and Sputtered Atoms : Planar Magnetron Discharge and PDP Discharge
- プラズマ ト スパッタ リュウシ クウカン ブンプ ノ カシカ プレーナマグネトロン ホウデン カラ PDP ホウデン マデ
この論文をさがす
抄録
PDPの構成要素であるITO透明導電性薄膜の反応性スパッタ作成プロセスにおける発光分光とレーザー誘起蛍光法によるプラズマとスパッタ原子空間分布計測、および面放電型AC-PDPテストパネルで行ってきたマイクロ放電の時空間分解構造診断計測の概要を報告する。
収録刊行物
-
- 映像情報メディア学会技術報告
-
映像情報メディア学会技術報告 24.36 (0), 13-18, 2000
一般社団法人 映像情報メディア学会
- Tweet
キーワード
詳細情報 詳細情報について
-
- CRID
- 1390001204524340736
-
- NII論文ID
- 110003269512
- 110003687838
- 10019078295
-
- NII書誌ID
- AN1059086X
-
- ISSN
- 09135685
- 24241970
- 13426893
-
- 本文言語コード
- ja
-
- データソース種別
-
- JaLC
- NDL
- CiNii Articles
-
- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可