書誌事項
- タイトル別名
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- MOCVD growth of ZnO thin films using Oxygen remote plasma
- 酸素リモートプラズマを用いたZnOのMOCVD成長
- サンソ リモートプラズマ オ モチイタ ZnO ノ MOCVD セイチョウ
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抄録
リモートプラズマMOCVD法により酸素プラズマを用いてジエチル亜鉛(DEZn)からZnOを成長させた。有機原料DEZnのキャリアガスとして水素と窒素を用いた場合、ZnOの成長速度に違いがみられ、水素キャリアを用いた場合に成長速度が大きくなった。また、水素ガス流量とプラズマ酸素流量の割合によっても成長速度が変化した。結晶成長時のプラズマ発光スペクトルを測定した結果から、酸素プラズマと水素ガスによる相互作用による成長機構を提案した。
収録刊行物
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- 映像情報メディア学会技術報告
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映像情報メディア学会技術報告 27.4 (0), 65-68, 2003
一般社団法人 映像情報メディア学会
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390001204527888512
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- NII論文ID
- 10018990124
- 110003672181
- 110003268315
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- NII書誌ID
- AA1123312X
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- ISSN
- 09135685
- 24241970
- 13426893
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- NDL
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可
