機械式真空ポンプ　極高真空対応ターボ分子ポンプについて

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• CRID

  1390001204545548928

• NII論文ID

  130003796390

• DOI

  10.11458/tsj1973.23.651

• ISSN

  18802338

  03858839

• 本文言語コード

  ja

• データソース種別

  • JaLC
  • CiNii Articles