半導体製造工場における廃水処理および水・薬品の再利用技術
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- 田中 宣雄
- 沖電気工業(株)
書誌事項
- タイトル別名
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- Waste-water treatment and reuse technology for semiconductor manufacturing plant
説明
半導体工場の環境対策は,大気汚染,水質汚濁,騒音,振動,産業廃棄物削減などのほか,省エネルギー,地球温暖化防止などがあげられる.その中の工場廃水,薬品などの環境対策としては,純水クローズドシステムや薬品の回収,リサイクルシステムなどの導入が進められている.
収録刊行物
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- 応用物理
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応用物理 69 (3), 297-300, 2000
公益社団法人 応用物理学会
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390001204596872704
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- NII論文ID
- 130003594110
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- COI
- 1:CAS:528:DC%2BD3cXhvVWnsb8%3D
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- ISSN
- 21882290
- 03698009
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可
