書誌事項
- タイトル別名
-
- Measurement and Evaluation of Micromechanisms. Vibration Measurements of Micromachined Gyroscope.
- マイクロ ジャイロ ノ シンドウ トクセイ ヒョウカ
この論文をさがす
抄録
マイクロジャイロの開発においては, そのキーエレメントである微小振動子の振動特性評価が重要である.当社では, レーザ変位計を利用した評価システムにより, 振動子の振動モードとその周波数, 駆動・検出モードのQ値などの振動特性を評価している.<BR>振動特性の評価結果より, 表面マイクロマシニングにより作製したマイクロジャイロは, FEMシミュレーションで予測された振動モードを持ち, ジャイロで利用する駆動・検出モードは雰囲気ガスによるダンピングの影響が大きいことが分かった.駆動・検出モードのQ値は, 0.1Pa以下の圧力で飽和し, その値は各々2800, 16000であった.特に, 検出モードはスクイズフィルムダンピングの影響が大きく, 検出モードのQ値の圧力依存性から, マイクロジャイロが高感度に動作する圧力範囲が推測できた.
収録刊行物
-
- 精密工学会誌
-
精密工学会誌 63 (3), 345-348, 1997
公益社団法人 精密工学会
- Tweet
詳細情報 詳細情報について
-
- CRID
- 1390001204764830720
-
- NII論文ID
- 110001367781
-
- NII書誌ID
- AN1003250X
-
- ISSN
- 1882675X
- 09120289
-
- NDL書誌ID
- 4160114
-
- 本文言語コード
- ja
-
- データソース種別
-
- JaLC
- NDL
- Crossref
- CiNii Articles
-
- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可