専門委員会・分科会研究レビュー　　プラナリゼーション加工／ＣＭＰ応用技術専門委員会　　超ＬＳＩデバイスウエハのプラナリゼーションＣＭＰ技術

DOI Web Site 被引用文献1件 参考文献21件

書誌事項

タイトル別名
  • Planarization CMP Technology for ULSI Device Wafers
  • プラナリゼーション カコウ CMP オウヨウ ギジュツ センモン イインカイ チョウLSI テバイスウエハ ノ プラナリゼーション CMP ギジュツ

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収録刊行物

  • 精密工学会誌

    精密工学会誌 66 (6), 835-841, 2000

    公益社団法人 精密工学会

被引用文献 (1)*注記

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参考文献 (21)*注記

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