E-beam Lithography system for pattern Generation
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- SAITOU Norio
- 日立製作所中央研究所
Bibliographic Information
- Other Title
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- 荷電ビームを応用する加工と計測 パターン創生用電子ビーム描画装置
- カイセツ パターンソウセイヨウ デンシ ビーム ビョウガ ソウチ
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Journal
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- Journal of the Japan Society for Precision Engineering
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Journal of the Japan Society for Precision Engineering 67 (9), 1393-1397, 2001
The Japan Society for Precision Engineering
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1390001204796751232
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- NII Article ID
- 110001373225
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- NII Book ID
- AN1003250X
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- ISSN
- 1882675X
- 09120289
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- NDL BIB ID
- 5900915
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- Text Lang
- ja
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- Data Source
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- JaLC
- NDL
- Crossref
- CiNii Articles
