荷電ビームを応用する加工と計測　　パターン創生用電子ビーム描画装置

詳細情報 詳細情報について

• CRID

  1390001204796751232

• NII論文ID

  110001373225

• NII書誌ID

  AN1003250X

• DOI

  10.2493/jjspe.67.1393

• ISSN

  1882675X

  09120289

• NDL書誌ID

  5900915

• Web Site

  http://id.ndl.go.jp/bib/5900915

  https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I5900915

• 本文言語コード

  ja

• データソース種別

  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles