書誌事項
- タイトル別名
-
- The Study of Fabrication of the X-ray Mirror by Numerically Controlled Plasma CVM(1st Report)
- スウチ セイギョ プラズマ CVM ニ ヨル Xセン ミラー ノ カコウ ニ カンスル ケンキュウ ダイ1ポウ Xセン ミラー カコウヨウ ソウチ ノ カイハツ
- X線ミラー加工用装置の開発
この論文をさがす
抄録
Numerically controlled plasma CVM machine has been developed in order to fabricate the ultra-high accuracy X-ray mirror efficiently without making the deformed layer. In this machine, gas bearing was applied to the rotary electrode for plasma generation and XY-table in order to maintain the cleanliness of the machining atmosphere. As a result of machining the plane mirror made of the silicon for the X-ray using this machine, 22.5nm (p-v) was achieved as flatness.
収録刊行物
-
- 精密工学会誌
-
精密工学会誌 67 (1), 131-136, 2001
公益社団法人 精密工学会
- Tweet
詳細情報 詳細情報について
-
- CRID
- 1390001204797218560
-
- NII論文ID
- 10015505891
- 110001373002
-
- NII書誌ID
- AN1003250X
-
- ISSN
- 1882675X
- 09120289
- http://id.crossref.org/issn/09120289
-
- NDL書誌ID
- 5629227
-
- 本文言語コード
- ja
-
- データソース種別
-
- JaLC
- NDL
- Crossref
- CiNii Articles
-
- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可