酸化チタン添加アルミナセラミックス製静電チャック
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- 宮地 淳
- 東陶機器
書誌事項
- タイトル別名
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- Electrostatic chuck composed of TiO2 doped Al2O3 ceramics
説明
ＬＳＩおよびフラットパネルディスプレー（ＦＰＤ）のプロセスやアセンブリ分野では真空チャンバー内でシリコンウェハやガラス基板を電気的に吸着固定することができる静電チャックの利用が促進されている。静電チャックに要求される機能は、シリコンウェハやガラス基板を強い力吸着できることの他、用途によっては精密な寸法精度（平面度）や温度負荷（熱通過）、腐食環境下での耐性などが要求される。弊社ではこれらの要求品質をバランスよく満足するセラミック製静電チャックを開発してきた。本セッションでは静電チャックの機能とそれを発揮させるためのマテリアルデザインでについて説明する。
収録刊行物
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- 日本セラミックス協会 年会・秋季シンポジウム 講演予稿集
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日本セラミックス協会 年会・秋季シンポジウム 講演予稿集 2004F (0), 87-87, 2004
公益社団法人 日本セラミックス協会
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390001205612367488
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- NII論文ID
- 130006968337
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可
