半導体プラズマチャンバー用インピーダンスマッチングシステムの非線形同定

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A nonlinear system identification of the inpedance matching system for the plasma chamber in the semi-conductor production

本発表では,半導体プラズマ製造装置に用いられるインピーダンスマッチングシステムの非線形同定について報告する．このシステムは動的線形部と静的非線形部の直列結合で表現され,このようなシステムの同定に適しているMinimum Norm Methodを用いることにより,本システムの非線形同定を行う．

システム制御情報学会　研究発表講演会講演論文集

システム制御情報学会　研究発表講演会講演論文集 SCI06 (0), 151-151, 2006

一般社団法人システム制御情報学会