Development of New Ceria Slurry

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  • 新規酸化セリウム系CMP用スラリーの開発
  • 新規砥粒の合成とその合成物の基本的加工特性

Abstract

酸化セリウムと酸化ジルコニウムの特性をともに生かした新規CMP用スラリーを開発した。この砥粒は、湿式合成により得られ、焼成·焼結することなく市販セリアスラリーと同等の加工性能を示す。焼成しないことから、この合成物の一次粒子径は、約10nmと小さく、スクラッチ等の発生低減が期待できる。

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  • CRID
    1390001205648949376
  • NII Article ID
    130004654932
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2003s.0.307.0
  • Data Source
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • Abstract License Flag
    Disallowed

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