新規酸化セリウム系CMP用スラリーの開発
書誌事項
- タイトル別名
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- Development of New Ceria Slurry
- 新規砥粒の合成とその合成物の基本的加工特性
説明
酸化セリウムと酸化ジルコニウムの特性をともに生かした新規CMP用スラリーを開発した。この砥粒は、湿式合成により得られ、焼成·焼結することなく市販セリアスラリーと同等の加工性能を示す。焼成しないことから、この合成物の一次粒子径は、約10nmと小さく、スクラッチ等の発生低減が期待できる。
収録刊行物
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- 精密工学会学術講演会講演論文集
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精密工学会学術講演会講演論文集 2003S (0), 307-307, 2003
公益社団法人 精密工学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390001205648949376
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- NII論文ID
- 130004654932
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可
