新規酸化セリウム系CMP用スラリーの開発
書誌事項
- タイトル別名
-
- Development of New Ceria Slurry
- 新規砥粒の合成とその合成物の基本的加工特性
抄録
酸化セリウムと酸化ジルコニウムの特性をともに生かした新規CMP用スラリーを開発した。この砥粒は、湿式合成により得られ、焼成·焼結することなく市販セリアスラリーと同等の加工性能を示す。焼成しないことから、この合成物の一次粒子径は、約10nmと小さく、スクラッチ等の発生低減が期待できる。
収録刊行物
-
- 精密工学会学術講演会講演論文集
-
精密工学会学術講演会講演論文集 2003S (0), 307-307, 2003
公益社団法人 精密工学会
- Tweet
詳細情報 詳細情報について
-
- CRID
- 1390001205648949376
-
- NII論文ID
- 130004654932
-
- データソース種別
-
- JaLC
- CiNii Articles
-
- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可
