テレスコピック型スムーズインパクト駆動機構を利用した超高真空対応試料導入位置決め機構の検討
書誌事項
- タイトル別名
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- Basic Study of Ultra-High Vacuum Compatible Specimen Positoner with Introducing Mechanism Using Telescopic Stick-Slip Actuator
抄録
圧電素子の急速変形と摩擦を利用することで，高分解能と長ストロークを同時に実現したスムーズインパクト駆動機構が知られている．これを利用して，電子顕微鏡等に用いられる試料導入およびステージ機構を小型化することを提案する．テレスコピック型スムーズインパクト駆動機構の駆動試験結果の報告と，先端における振動について考察を行う．
収録刊行物
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- 精密工学会学術講演会講演論文集
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精密工学会学術講演会講演論文集 2003A (0), 770-770, 2003
公益社団法人 精密工学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390001205650139392
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- NII論文ID
- 130005027028
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可