ポリシングにおけるドレス条件がパッド表面性状に及ぼす影響に関する研究
書誌事項
- タイトル別名
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- Study on Effect of Dressing Method on Pad Surface Characteristics in Polishing Technique
- Effect of Dressing Time on Pad Surface Characteristics
- ドレス時間がパッド表面性状に及ぼす影響
抄録
本研究ではダブプリズムを用いた接触画像解析法に基づくポリシングパッド表面性状の定量評価手法の確立を目的として，接触率や接触点数等を評価パラメータとして検討している．本報告では修正リング型研磨装置を用いて，特にドレス時間がパッド表面性状に及ぼす影響について検討した結果を示す．
収録刊行物
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- 精密工学会学術講演会講演論文集
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精密工学会学術講演会講演論文集 2009A (0), 319-320, 2009
公益社団法人 精密工学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390001205651474944
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- NII論文ID
- 130004659089
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可