姿勢補正機能をもつボールねじ式位置決めステージ
書誌事項
- タイトル別名
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- A ball-screw positioning stage with posture error correction
- First report - concept and prototype
- 第1報 構想と装置の試作
抄録
本研究は，外力やねじの振れ回り等から生じるテーブルの姿勢・位置誤差を補正する機能をもつボールねじ式位置決めステージの開発を目的とする．本手法では，ボールねじのダブルナット間のねじ軸近傍に複数の圧電素子を配する．この各圧電素子の伸縮量を変えることによりヨー（およびピッチ）方向の動きをつくり，テーブルの姿勢補正を行う．本報では装置を試作し，試作装置の基礎動作特性を調べた結果について報告する．
収録刊行物
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- 精密工学会学術講演会講演論文集
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精密工学会学術講演会講演論文集 2009S (0), 947-948, 2009
公益社団法人 精密工学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390001205652384384
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- NII論文ID
- 130005029950
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可