FIB加工によるGC型の製作とホットエンボス成形によるガラス基盤への応用

DOI
  • 尹 成圓
    産業技術総合研究所　先進製造プロセス研究部門
  • 高橋 正春
    産業技術総合研究所　先進製造プロセス研究部門
  • 後藤 博史
    産業技術総合研究所　先進製造プロセス研究部門
  • 前田 龍太郎
    産業技術総合研究所　先進製造プロセス研究部門

書誌事項

タイトル別名
  • FIB Milling of Glassy Carbon Mold and Its Application to Hot–Embossing of Glass Channel

抄録

集束イオンビーム(FIB)加工とホットエンボス技術を併用してマイクロガラス流路を製作した。型として用いるglassy carbon (GC)のFIB加工における、加工深さとイオンビーム照射条件の関係をしらべ、 最適加工条件を検討した。GC型を用いて 石英とパイレックスガラスへのホットエンボス実験を行った。その結果、2μm幅の流路パターンを良好に伝写することができた。

収録刊行物

キーワード

詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390001205653673472
  • NII論文ID
    130005027576
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2006s.0.735.0
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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