金属メッシュを用いたラッピング用研磨工具の開発

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ラッピング加工は半導体基板をはじめ、ガラスの前加工など多くの精密機械加工に用いられ、一般的に定盤には鋳鉄やステンレスなどの無気孔の金属が使用される。また、製品コストの低減のため加工の効率化が求められており、本研究では砥粒の滞留性に着目し作用砥粒数を増加させることで研磨能率の向上を図った。その結果、金属メッシュを研磨工具に用いることで従来の鋳鉄定盤の二倍の研磨能率が得られたので報告する。

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  • CRID
    1390001205659822336
  • NII Article ID
    130005479066
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2014s.0_667
  • Text Lang
    ja
  • Data Source
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • Abstract License Flag
    Disallowed

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