金属メッシュを用いたラッピング用研磨工具の開発
説明
ラッピング加工は半導体基板をはじめ、ガラスの前加工など多くの精密機械加工に用いられ、一般的に定盤には鋳鉄やステンレスなどの無気孔の金属が使用される。また、製品コストの低減のため加工の効率化が求められており、本研究では砥粒の滞留性に着目し作用砥粒数を増加させることで研磨能率の向上を図った。その結果、金属メッシュを研磨工具に用いることで従来の鋳鉄定盤の二倍の研磨能率が得られたので報告する。
収録刊行物
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- 精密工学会学術講演会講演論文集
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精密工学会学術講演会講演論文集 2014S (0), 667-668, 2014
公益社団法人 精密工学会
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390001205659822336
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- NII論文ID
- 130005479066
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可