イオンプレーティング法によるGZO薄膜の成膜

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タイトル別名
  • The deopsiton technology of GZO films by using Ion-plating method

抄録

HCDガンイオンプレーティング法を用いてガリウムドープ酸化亜鉛（GZO）膜を成膜し、評価した。その結果についてご報告する。

収録刊行物

詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390001205678726656
  • NII論文ID
    130005038091
  • DOI
    10.14886/sssj2008.30.0.30.0
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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