17pRA-5 高周波誘導結合型プラズマ中の高周波電位形成と電子二次元速度分布関数
書誌事項
- タイトル別名
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- RF potential formation and two-dimensional electron velocity distribution functions in a RF Inductively Coupled Plasma
収録刊行物
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- 日本物理学会講演概要集
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日本物理学会講演概要集 56.2.2 (0), 128-, 2001
一般社団法人 日本物理学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390001206040793472
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- NII論文ID
- 110002024723
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- ISSN
- 21890803
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles