17pRA-5 高周波誘導結合型プラズマ中の高周波電位形成と電子二次元速度分布関数

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タイトル別名
  • RF potential formation and two-dimensional electron velocity distribution functions in a RF Inductively Coupled Plasma

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390001206040793472
  • NII論文ID
    110002024723
  • DOI
    10.11316/jpsgaiyo.56.2.2.0_128_1
  • ISSN
    21890803
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles

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