コンパクト構造磁気浮上ナノ位置決めステージの開発

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書誌事項

タイトル別名
  • Development of Compact Maglev Nanometer-Scale Positioning Stage
公開日
2018-08-20
DOI
  • 10.11522/pscjspe.2018a.0_447
公開者
公益社団法人 精密工学会

説明

<p>超精密位置決めステージには、テーブルを非接触に6自由度制御する磁気浮上案内の適用が有効である。しかし、テーブルの自重をリニアモータ推力で支持する場合、コイル発熱の処理やモータの大形化が課題となる。そこで、本研究では、永久磁石の反発力を利用した非接触重力補償要素を用いたコンパクトな磁気浮上ステージ機構を開発した。さらに、特性評価の結果、ナノメートルスケールの浮上安定性を確認した。</p>

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390001288125302016
  • NII論文ID
    130007602158
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2018a.0_447
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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