オゾン/紫外光援用ウエット研磨法の開発
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- 久保田 章亀
- 熊本大 先端科学研究部
書誌事項
- タイトル別名
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- Development of ozone/UV assisted wet polishing
- Effect of introducing micro bubbles
- マイクロバブルの効果
抄録
<p>溶媒環境下における化学反応を利用した難加工材料の高精度加工プロセスの開発に取り組んでいる.現在,加工効率の向上を図るために,溶媒環境下において,オゾンと紫外線を利用した加工法の開発に取り組んでいる.本報告では,マイクロバブル状にしたオゾンを利用したウエット研磨による単結晶ダイヤモンドの加工特性について報告する.</p>
収録刊行物
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- 精密工学会学術講演会講演論文集
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精密工学会学術講演会講演論文集 2020S (0), 142-142, 2020-03-01
公益社団法人 精密工学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390004222624839296
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- NII論文ID
- 130007896494
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可