SiNキャップ層高温熱処理によりGaN表面付近に導入される電子トラップの深さ方向分布の熱処理時間依存性
書誌事項
- タイトル別名
-
- Depth profiling of deep-level traps in GaN introduced by high-temperature thermal treatment with SiN cap layer
収録刊行物
-
- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
-
応用物理学会学術講演会講演予稿集 2020.1 (0), 2826-2826, 2020-02-28
公益社団法人 応用物理学会
