書誌事項
- タイトル別名
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- Next Generation CMP Process Technique for Hard-to-Process Single Crystals
- 難加工次世代単結晶のための次世代型CMP加工技術 : プラズマ/CMP同時融合加工の実用化に向けて
- ナン カコウ ジセダイタンケッショウ ノ タメ ノ ジセダイガタ CMP カコウ ギジュツ : プラズマ/CMP ドウジ ユウゴウ カコウ ノ ジツヨウカ ニ ムケテ
- ―プラズマ/CMP同時融合加工の実用化に向けて―
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収録刊行物
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- 精密工学会誌
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精密工学会誌 88 (6), 435-439, 2022-06-05
公益社団法人 精密工学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390010842618266240
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- NII書誌ID
- AN1003250X
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- ISSN
- 1882675X
- 09120289
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- NDL書誌ID
- 032224798
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- NDL
- Crossref