GaNテンプレート基板のためのSi基板上無極性面AlN結晶成長の作製条件の検討

DOI

書誌事項

タイトル別名
  • Study on the crystal growth conditions of non-polar AlN on Si for GaN template substrate

収録刊行物

詳細情報 詳細情報について

問題の指摘

ページトップへ