GaNテンプレート基板のためのSi基板上無極性面AlN結晶成長の作製条件の検討
書誌事項
- タイトル別名
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- Study on the crystal growth conditions of non-polar AlN on Si for GaN template substrate
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2021.1 (0), 2611-2611, 2021-02-26
公益社団法人 応用物理学会