Ge/Si(111)ヘテロエピタキシャル成長過程におけるSi(111)7×7表面再構成ストレスのその場観察
書誌事項
- タイトル別名
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- In-situ stress observation of Si(111)7×7 reconstruction during Ge/Si heteroepitaxial growth
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2014.2 (0), 1351-1351, 2014-09-01
公益社団法人 応用物理学会