Cl<sub>2</sub>-誘導結合型プラズマエッチングにおけるヤヌス型トリプチセンTripC<sub>12</sub> のエッチング特性の評価
書誌事項
- タイトル別名
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- Etching characterization of Janus-type Triptycene (TripC<sub>12</sub>) in Cl<sub>2</sub> based inductively coupled plasma etching process
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2014.2 (0), 251-251, 2014-09-01
公益社団法人 応用物理学会