空洞共振器型ランチャーを用いた915MHz UHF波励起大面積表面波プラズマの生成

収録刊行物

• 応用物理学会学術講演会講演予稿集

  応用物理学会学術講演会講演予稿集 2011.1 (0), 1796-1796, 2011-03-09

  公益社団法人 応用物理学会