SiC昇華法における機械学習を用いた炉内温度分布最適化
書誌事項
- タイトル別名
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- Optimization of furnace temperature distribution in SiC sublimation process using machine learning
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2021.2 (0), 3021-3021, 2021-08-26
公益社団法人 応用物理学会
